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产品参数：
阀板尺寸：2600mm*200mm*50mm
腔体漏率<5*10^-10Pa*m^3/s
开闭时间<4s
寿命>100万次
核心结构：金属阀体 + 可水平滑动的插板，依靠插板进出流道实现全开 / 全关。
驱动方式：图中为直驱结构（通常配直线电机或模组直驱，无皮带 / 丝杆等中间传动）。
典型应用：真空镀膜、晶圆 / 电池片传输、高洁净粉体输送、实验室真空系统等。
产品优点：
洁净度高，低污染直驱 + 无润滑结构，无粉尘、油污释放，满足半导体 / 锂电等高洁净要求。
响应快，控制精度高直驱驱动，无传动间隙，开关动作快，定位精准，适合自动化产线。
密封可靠，泄漏率低金属或高等级软密封结构，可实现高真空密封，满足工艺对气密性的严苛要求。
流道直通，不易卡料通流通道无死角，粉体 / 颗粒介质不易堆积堵塞，维护周期长。
结构紧凑，安装空间小扁平式设计，可直接安装在腔体或管路法兰上，节省设备空间。
耐高低温、抗腐蚀全金属阀体，可根据工况选用不锈钢、铝合金等材质，适配真空、腐蚀、高温等恶劣环境。
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