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五轴大理石运动平台，使用无铁芯电机，无齿槽力，运行平稳波动小。全大理石结构，精度稳定性好。Y1轴使用3导轨布局，滑板变形小，提高支撑刚性。高稳定性，高速度，可以用在半导体芯片加工、半导体晶圆检测、激光加工、屏幕检测、超镜面加工等多个领域，进行各类高精度加工和检测。
高重复精度、高直线精度、高正交性精度。Y2轴和X1轴实测重复精度±0.3μm；Y1轴实测垂直直线度4μm，水平直线度3μm。X1轴与Y1轴、X2轴与Y1轴正交性实测均在10arcsec内。
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