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晶圆划片机

德玛特直驱电机赋能晶圆划片,以无传动间隙优势突破精度瓶颈。直接驱动刀片高速运转,实现纳米级定位与微米级切割公差,完美适配晶圆精细划片需求。

高刚性结构抑制切削振动,减少晶圆崩边、崩角缺陷,大幅提升良率。快速响应特性搭配闭环控制,确保切割路径笔直精准,适配不同尺寸晶圆高效加工。

低噪音、低磨损设计延长设备寿命,降低运维成本,同时支持自动化连续生产。直驱电机为晶圆划片注入高效、精准、稳定基因,助力半导体制造提质增效。

方案详情

 金刚石划片:半导体划片的经典高效之选

金刚石划片凭借高刚性切割技术,成为半导体量产的核心划片方案。以高速旋转的金刚石刀片为核心,搭配精密进给系统,实现晶圆的精准分离,适配等多种材质晶圆。

切割效率突出,支持大尺寸晶圆批量加工,厚度公差控制在微米级,有效保障芯片完整性。具备稳定的工艺重复性,减少崩边、裂纹等缺陷,助力提升生产良率。结构成熟、运维便捷,适配自动化生产线无缝衔接,从消费电子到功率器件领域,始终是兼顾效率与成本的高性价比划片方案。

激光划片:先进制程的精密划片革新

激光划片以无接触加工优势,破解超薄、易碎晶圆划片难题。利用聚焦激光束的热效应或冷加工技术,实现无机械应力切割,完美适配先进制程中极小间距划片需求。

切割精度达纳米级,路径笔直无偏差,可处理厚度 10μm 以下的超薄晶圆,大幅降低芯片损伤风险。无粉尘污染、无刀具磨损,契合洁净车间要求,同时支持复杂图形切割,适配异形芯片加工。从高端半导体到 Mini/Micro LED 领域,为高集成度、高精度划片需求提供高效解决方案,赋能产业技术升级。


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