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随着芯片制造持续迈向更高制程,半导体工艺节点突破正面临着材料界面控制、极端结构加工与全链路良率管理的复合挑战,驱动半导体设备精密制造过程控制向更高精度、更高稳定性与更智能化演进。
德玛特直驱技术凭借动力单元与执行末端无中间传递的直接耦合,纳米级精度、毫秒级动态响应与近乎零反向间隙的核心特性,彻底重构了精密运动控制的技术边界,已成为支撑晶圆制造、纳米级测量、离子注入、混合键合及先进封装等关键半导体装备实现超精密操控的基础技术架构。
直驱核心,智造 “芯” 力量!德玛特直驱产品,以纳米级精度,高动态响应,高功率密度,助力国产半导体设备突破性能瓶颈,稳定可靠更省心。
德玛特产品在半导体制造的清洗、输送、抛光、减薄、贴片、划片、匀胶、焊线、检测、封装、分选等工艺有广泛的应用。
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