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大理石涂布平台
高精度，高稳定性，直线度好，大理石基座。
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直驱大理石涂布平台，采用大理石基座，稳定性高，直线度好，双向重复定位精度低至0.8μm，滑台跳动精度小于4μm。 

大理石涂布平台

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