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弧形直驱旋转平台
高精度，结构紧凑，重量轻，厚度薄，中空大，模块化与灵活性高。
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弧形直驱旋转平台，具备厚度薄、中孔大、转矩密度高、无齿槽效应等意系列优点，高精度，轴向跳动与径向跳动均为5μm。弧形设计，模块化与灵活性高，可以通过拼接多个扇段来实现不同的运动范围；采用无铁芯设计，结构紧凑，重量轻且厚度薄，总重量仅为5.19kg。应用于半导体检测、液晶面板加工等精密制造工序。


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