airUPRT系列
气浮转台
气浮轴承结构,匀速稳定,超高精度,端跳70纳米,径跳100纳米。
产品详情

一款非常适合半导体行业减薄机、探针台、光刻机的气浮转台,端跳70纳米,径跳100纳米重复定位精度±1",采用德玛特零齿槽直驱电机,非接触的气浮轴承结构,实现无摩擦的转动。具备超高转动精度、匀速稳定性、极小的轴向和径向跳动误差等特点。适合半导体行业划片、减薄、涂胶、光刻、光学检测等超高精度加工场景。


气浮转台



        

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