端跳70纳米 气浮转台airUPRT系列 德玛特气浮直驱转台，采用无齿槽效应电机芯，无轴承摩擦磨损，具备超高的速度稳定性，纳米级端径跳。适合半导体行业划片、减薄、涂胶、光刻、光学检测等超高精度加工场景。 气浮系列 2024年07月20日
