半导体晶圆减薄机直驱方案 德玛特控制系统+气浮转台 由于减薄机对转台精度、速度稳定性、端径跳都提出了极高要求,因此,德玛特气浮转台airUPRT成为上佳之选。airUPRT转台重复精度为±1μm,端跳低至70纳米,径跳达到100纳米,且具有超低速度波动性。此外,德玛特还提供全套的减薄机系统解决方案,包含驱动器和软件系统。 08月03日
高精度直驱二维转台解决方案 德玛特双臂五轴摇篮RTMD系列 德玛特数控五轴摇篮转台的新应用——高精度直驱二维转台,可发挥直驱摇篮全数控、高速度、大扭矩、长寿命的优点,实现目标的高精度追踪和扫描。 08月02日
半导体精密制造检测方案 德玛特气浮旋转和直线平台 德玛特气浮系列,具有高精度,高稳定性特点。对于旋转类检测,如探针台、对位转台,有气浮旋转平台,对于直线类检测,有气浮直线平台。气浮直线平台airDDLP系列,直线度±0.25~±4μm,重复精度低至±2μm。适合满足晶圆检测、高精度计量、X 射线衍射系统、光学检测和制造以及 MEMS/纳米技术器件制造的严格要求。 08月02日
锂电池叠片机直驱方案 德玛特直线模组LHA系列 直线模组是叠片机和切叠一体机追求高速高效率基本无法绕过的选择,德玛特直线模组,最高5m/s的速度,加速度最高可达到5G,精度最高可达到±1μm,长度行程可按需求定制,单模组最长可达5.7m,理论上可以拼接无限长,轻松协助实现最高效率叠片机和切叠一体机。 08月02日