端跳70纳米 气浮转台airUPRT系列 德玛特气浮直驱转台,采用无齿槽效应电机芯,无轴承摩擦磨损,具备超高的速度稳定性,纳米级端径跳。适合半导体行业划片、减薄、涂胶、光刻、光学检测等超高精度加工场景。 07月20日 转台 气浮 高精度
德玛特超⼤尺⼨⽓浮纠偏平台 德玛特超大气浮运动,台面尺寸达到1.5m×1m,国内直驱最大尺寸的纠偏平台之一,运动直线精度高,速度波动小,可达2m/s,重复定位精度可达±0.5um。应用:编码器精度误差检验,大尺寸精密加工纠偏(如半导体晶圆、大尺寸显示屏等制造设备)。 12月29日
德玛特气浮直线平台 德玛特气浮直线平台,主要用于精密检测,行程2米,最大速度可达2米/秒,在长行程下依然能保持高精度,重复精度达到±0.6um,使之在高精度要求的行业具有广泛的应用前景。例如在半导体行业适用于晶圆检测;在医疗器械制造中,可以让零部件尺寸达到非常高的精度,表面光洁度好;在航空航天领域,要求机床具有高速加工和高精度定位能力,以满足轻量化和结构优化的需求。 10月25日 平台 直驱
德玛特高精度直驱XY气浮平台 德玛特双导轨XY直线模组平台,采用德玛特高精度无铁芯直线电机模组组成,具有良好的刚性性能以及良好的定位精度,此外还有高速度,高加速度,零背隙,使用寿命长,维护成本低等一系列优点…… 11月19日
[视频] 德玛特高精度直驱气浮转台 在芯片等高端制造的应用场景,少不了高精度转台,通过高精度定位的旋转,来实现精准的检测、加工或质量控制。德玛特推出全新的气浮转台NXB系列,进一步拓展了产品的应用场景,大幅提升了在高端智能装备市场的竞争力。 04月23日 气浮转台 直驱转台