德玛特超大气浮运动,台面尺寸达到1.5m×1m,国内直驱最大尺寸的纠偏平台之一,运动直线精度高,速度波动小,可达2m/s,重复定位精度可达±0.5um。

应用:编码器精度误差检验,大尺寸精密加工纠偏(如半导体晶圆、大尺寸显示屏等制造设备)。

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技术参数:

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