德玛特气浮直驱转台，采用无齿槽效应电机芯，无轴承摩擦磨损，具备超高的速度稳定性，纳米级端径跳。适合半导体行业划片、减薄、涂胶、光刻、光学检测等超高精度加工场景。


70纳米端跳，100纳米径跳

重复定位精度±1μm

定位精度±2μm



技术参数：

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