德玛特双导轨XY直线模组平台,采用德玛特高精度无铁芯直线电机模组组成,气浮轨道使之拥有更高的精度和更平滑的位移,此外它还具有良好的刚性性能以及良好的定位精度,此外还有高速度,高加速度,零背隙,使用寿命长,维护成本低等一系列优点。

德玛特直驱XY平台,高速度、高精度、高动态响应,适合各种高精度平米平面传动,如芯片制造业,精密检测等。
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技术参数


规格参数

单位

数值

行程

mm

220×250(设计行程范围:800

直线度

μm

±0.5

平面度

μm

3

垂直度

μm

±2

精度

μm

±0.5

重复精度

μm

±0.4

最大速度

m/s

2

水平负载

Kg

100