在这个高科技日新月异的时代，半导体行业的高性能装备对传动系统的要求愈发严苛：既需要强劲的转矩,又需要精准的定位；既要高速运转,又要低噪音静音；既要耐久稳定,又要无需维护......

然而，常规马达早已难以满足种种新要求。此时，更为先进的直驱电机（直线电机与DD马达）应运而生——

采用德玛特直驱技术，高速高精度；部分采用磁悬浮，稳定静音；采用封闭环控制,实时监测最高可实现纳米级反馈；无需传动，维护成本低；采用全定制设计，完美匹配您的装备。

德玛特有多款直驱产品已经广泛应用于半导体行业：

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德玛特无铁芯直线电机DU系列


•高速度、高动态响应
•无齿槽效应，速度波动小，稳定性更高
•精度高
•安装尺寸小，温升低

德玛特DU系列无铁芯直线电机，通过高精度运动控制解决方案，在半导体晶圆划片、离子注入等工艺流程有出色的表现。


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德玛特⽆槽DD⻢达S系列


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适用于各类高精密转台。

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德玛特高精度端面电机NXA系列


德玛特端面电机NXA160，响应快，μm级高精度，可用于半导体和激光制造中精准对位。

技术参数：

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德玛特高速响应转台HD系列


德玛特转台HD140，具有高转动惯量，适⽤于⾼精度⾼速度分度应⽤， 如芯⽚分拣机、精密检测仪器等。


应用场景：

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德玛特直线执行器DO系列

德玛特直线执行器DO系列，小行程，高速度，高加速度，与德玛特高响应转台配合，加入取放模块可以进行高速的分拣作业，或装配工艺流程。


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德玛特超高精度气浮转台


超精密纳米级气浮平台在半导体制造中的应用非常重要，如在半导体后段封测的核心设备固晶机、焊线机和磨片机上，都需要高速高精的运动控制核心技术平台，在包括运动控制、伺服驱动、直线电机和视觉系统的整个底层核心技术平台的基础上，才能开发出固晶、焊线、先进封装等全系列设备。

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德玛特双导轨XY气浮平台


德玛特双导轨气浮平台，采⽤德玛特⾼精度⽆铁芯直线电机模组组成，大理石平台为底座，安装精度高，维护方便。

产品特点：


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德玛特大理石气浮平台

德玛特大理石气浮平台，采⽤德玛特⾼精度⽆铁芯直线电机模组，大理石基座，精度高，响应快，可用做半导体行业高精度检测平台。

技术参数：

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