半导体晶圆减薄机直驱方案 德玛特控制系统+气浮转台 由于减薄机对转台精度、速度稳定性、端径跳都提出了极高要求,因此,德玛特气浮转台airUPRT成为上佳之选。airUPRT转台重复精度为±1μm,端跳低至70纳米,径跳达到100纳米,且具有超低速度波动性。此外,德玛特还提供全套的减薄机系统解决方案,包含驱动器和软件系统。 半导体行业应用
高精度直驱二维转台解决方案 德玛特双臂五轴摇篮RTMD系列 德玛特数控五轴摇篮转台的新应用——高精度直驱二维转台,可发挥直驱摇篮全数控、高速度、大扭矩、长寿命的优点,实现目标的高精度追踪和扫描。 自动化设备解决方案
半导体精密制造检测方案 德玛特气浮旋转和直线平台 德玛特气浮系列,具有高精度,高稳定性特点。对于旋转类检测,如探针台、对位转台,有气浮旋转平台,对于直线类检测,有气浮直线平台。气浮直线平台airDDLP系列,直线度±0.25~±4μm,重复精度低至±2μm。适合满足晶圆检测、高精度计量、X 射线衍射系统、光学检测和制造以及 MEMS/纳米技术器件制造的严格要求。 半导体行业应用
锂电池叠片机直驱方案 德玛特直线模组LHA系列 直线模组是叠片机和切叠一体机追求高速高效率基本无法绕过的选择,德玛特直线模组,最高5m/s的速度,加速度最高可达到5G,精度最高可达到±1μm,长度行程可按需求定制,单模组最长可达5.7m,理论上可以拼接无限长,轻松协助实现最高效率叠片机和切叠一体机。 新能源与光伏行业应用
光伏丝网印刷直驱方案 德玛特HD系列高响应直驱转台 丝网印刷是光伏太阳能单晶硅/多晶硅电池片生产重要工序,主要用于光伏电池组件中单晶、多晶电池片的正负极电路印刷,以形成电路。此工序对分度转台的速度、精度、加速度均有较高的要求,德玛特HD系列高响应转台,具备高响应、快节奏的优点,HD系列转台整定时间最高达到28ms,足以满足光伏行业对高效率的追求。 新能源与光伏行业应用
直线模组LHA180系列 德玛特直线模组LHA180系列,具备高速度,高加速度,高精度,免维护等系列优点。速度2.5m/S,加速度最高5G,精度±2μm,重复精度±1μm,最⻓⾏程: 5626mm。可应用于各类自动化设备和自动化生产线。 直线模组
端跳70纳米 气浮转台airUPRT系列 德玛特气浮直驱转台,采用无齿槽效应电机芯,无轴承摩擦磨损,具备超高的速度稳定性,纳米级端径跳。适合半导体行业划片、减薄、涂胶、光刻、光学检测等超高精度加工场景。 气浮系列
德玛特直驱旋转平台DD630 德玛特超大负载、高精度直驱旋转平台DD630,最大轴向负载超过10万N,重复精度±2角秒(如需更高精度请联系咨询客服人员。),同时又具备低高度,大中空等优势。 直驱旋转平台