专为高精度、小尺寸材料对位需求设计的mini版对位纠偏平台，机身高仅52mm，长宽仅65mm。结构紧凑、轻量化设计；高精度、高动态响应。直线轴重复精度±0.5μm，旋转轴重复精度±1.3"。全自由度精密调整，能完成各种精细纠偏任务。