激光切管专用直线模组——大理石卡盘模组

双直驱五轴摇篮RTMD320A

大理石定梁龙门

高转速直驱旋转平台DDV110

高速运行直线模组

音圈电机模组(恒力测微仪)

Z轴直线电机

直线模组LHA140-L11940

ZR轴执行器

直驱旋转平台(晶圆纠偏)