高精度大推力Z轴直线电机。直线度5μm，重复精度0.3μm，定位精度6μm；小行程大推力，有效行程30mm，最大推力692.4Nm，额定负载13kg。适合半导体行业的点胶机、贴片机等对精度有高要求的设备，广泛用于半导体检测，3c电子零部件加工，激光切割等等。