早在2014 年 9 月，国家财政部、国开金融有限责任公司、中国烟草总公司等国资背景股东就成立 987.20 亿元国家大基金一期，投资领域覆盖了整个产业链，但主要集中于制造、设计、封测这三个环节，设备材料、生态建设这两块投资力度相对有限。因此国家大基金二期将重点关注上述两个领域，兼顾整个产业链，促进我国半导体行健康发展。

当下中国半导体行业产业集聚已初步形成，出现了诸如华为海思、中芯国际、华虹宏力、长电科技、中微半导体等集成电路设计、制造、封测、设备等环节领军企业。尤其是封测领域，中国企业已经进入世界第一梯队，设计、制造领域，中国分别有华为海思和中芯国际进入世界前十。但设备领域，中国尚未出现世界领先企业，仅有中微半导体的刻蚀机技术达到世界先进水平，并进入世界第一大晶圆代工厂台积电的供应商之列，其他半导体设备领域我国尚无可以进入先进行列的设备厂商。



俗话说“巧妇难为无米之炊”，设备对于半导体行业来说正是这种关系。像台积电、三星电子、英特尔等集成电路厂商之所以技术先进，先进制程领先其他厂商，与其领先的半导体设备供应密切相关。而我国，尽管集成电路市场巨大，年进口集成电路达3,000亿美元以上，但自主市场份额却占比很小，据统计2018年半导体贸易逆差高达2,200多亿美元。发达国家为了阻碍我国在半导体领域的发展，严格限制半导体高精尖设备出口到我国。近期中芯国际向荷兰阿斯麦公司订购的极紫外光刻机(EUV)恐生变数，阿斯麦公司以没有取得出口许可证为由迟迟未发货，距离中国的第一台EUV光刻机恐怕还有很长的路要走。



2018年中国半导体设备市场规模为868亿美元，自给率为13%，在集成电路领域甚至更低，约为5%。面对核心技术被卡脖子的窘境，中国只有自己研发才是突破之道，国家大基金二期正式在这种情况下诞生的。

国家大基金二期专注投资的重点领域之一就是半导体制造设备，诸如光刻机、刻蚀机、薄膜设备、测试设备等，其加工精度可以达到亚微米级甚至是纳米级，在这种精度要求下，一般的电机根本无法满足要求。目前，最先进的光刻机、封装测试设备、切割设备等均采用直线电机作为动力装置。



直线电机是一种将电能直接转换成直线运动机械能，而不需要任何中间转换机构的传动装置。它可以看成是一台旋转电机按径向剖开，并展开成平面。在直线电机中，相当于旋转电机定子的，叫初级，相当于旋转电机转子的，叫次级。初级中通以交流，次级就在电磁力的作用下沿着初级做直线运动。

在集成电路制造工厂，高精度光刻机通常放置在在等级为10的洁净室里，直线电机应用于其中XY定位平台，使用纳米分辨率来实现亚微米级精度。此外直线电机在面板、医疗等领域也越来越受欢迎，因为相比较传统的转转电机，直线电机具有很大的优势，具体如下：


结构简单，体积小。直线电机通过以最少的零部件数量来实现直线驱动，而且是只存在一个运动的部件；

维护简单，使用寿命长。由于部件少，运动时无机械接触，从而大大降低了零部件的磨损，只需很少甚至无需维护，使用寿命更长；行程大。运行的行程在理论上是不受任何限制，而且其性能不会因为其行程的大小改变而受到影响；

摩擦力很小。没有机械接触，传动力是在气隙中产生的，除了直线电机导轨以外没有任何其它的摩擦；
加速度很大。最大可达10g；
运动平稳。这是因为除了起支撑作用的直线导轨或气浮轴承外，没有其它机械连接或转换装置的缘故；
转速运行范围大。其运转可以提供很宽的转速运行范围，其涵盖包括从每秒几微米到数米，特别是在高速状态下是其一个突出的优点；

精度和重复精度高。因为消除了影响精度的中间环节，系统的精度取决于位置检测元件，有合适的反馈装置可达亚微米级甚至纳米级。直线电动机的精度性能要远远优于旋转电动机+滚珠丝杠。

污染小，可应用在洁净室。直线电机不需要润滑剂。润滑剂也是污染源。

目前直线电机70%以上的市场主要被欧美日品牌占据，如力士乐Rexroth、科尔摩根Kollmogen、派克Parker、西门子Siemens、安川电机Yaskawa、山洋电机Sanyo等品牌，国内仅有雅科贝思、上银、大族等少数品牌，而且在品质方面仍无法与国外品牌竞争。

未来随着智能制造及高精尖设备的大范围应用，对设备提出了更高的精度要求，直线电机将会在其中发挥越来越重要的作用。尤其是在半导体设备领域，为了突破国外封锁，只有研发自主品牌的高精度直线电机以及光刻机、刻蚀机、薄膜设备等半导体核心设备才能使我国的半导体产业不受国外制约，早日让中国人用上 “中国芯”。