DD马达是一种高精度、高速度、高转矩的外转子型直接驱动电机。它采取转子和运动载体直接连接的方式,中间不再用其他的过渡连接(减速机构,联轴器等),DD马达因输出力矩大也称为力矩电机。

DD马达的优势负载直接与马达转子相连接,中间无减速机构、联轴器、齿轮、丝杆等中间传动结构,这些中间机构所产生的误差是无法避免的,尤其对长时间运动所造成的机械磨损更是无法弥补。DD马达转子直接与负载相连,因此消除了中间环节所产生的误差,达到最理想的控制精度。DD马达具有很强的刚性,直接与负载连接使得较强的刚性能够更好地体现在负载上。


DD马达适用于各种产业装置机械,特别是半导体制造检查装置、液晶制造装置,如:应用于高i性能胶片、充电电池应用于LED检测系统手机面板贴膜机应用于太阳能电池设备应用于半导体IC测试机半导体划片机应用于LCD研磨机LCD行业彩色滤光片镀膜机等。

DD马达在LED晶圆紫外激光高速划片设备,激光晶圆切割设备是专门针对LED芯片生产企业所研发出的一款高i端精密设备,主要应用于以Sapphire基底的GaN晶圆的划片切割。配备多组同轴光源,能很好地配合PSS工艺,侧腐蚀工艺,以及背镀金属工艺和垂直结构工艺晶园片的划片和切割,DD马达在此设备上功能为配合CCD进行纠偏以及90度工位调整,主要应用DD的高i精度0轴旋转精度0.0001度,小体112mm*112mm66mm.